液晶向けCIMベースソフトウェア(PowerCELL)
液晶向けCIMベースソフトウェアは液晶製造工場における製造・検査・搬送装置向けにCIMアプリケーション機能を実装したベースソフトウェアです。工程内の複数装置を一括管理し各装置の上位通信機能を統合した制御も可能で、ご要望にあったシステムソリューションをご提供します。
特長
- SECS通信規格に対応した上位通信ソリューションを実装
- 装置などの制御用通信プロトコルを実装
- スタンダードな通信を提供
- フレキシブルな状態表示が可能
- 装置ごとに実装したメンテナンス、レシピ管理、統計処理機能
機能
- 1.ホストコンピュータと装置間の制御を管理
- 2.生産ラインの各装置を統括管理
- 3.装置ごとのレシピ情報の管理
- 4.装置間の基板フロー制御と基板情報の管理と伝達
- 1.装置構成に合わせたフレキシブルな表示が可能
- 2.各種状態(処理状態/異常状態etc)を常時監視
- 1.イベントログ、通信ログ、異常ログなどログ管理を実現
- 2.抽出機能、検索機能、ログ出力などの機能を持ち自由な参照が可能
- 3.多彩な表示形式を実装
システム構成図(例)
