半導体

SECS通信ライブラリ(PowerCIM)

液晶・半導体工場の製造・検査・搬送装置がSECS準拠の通信を行うための、アプリケーション開発ライブラリソフトウェアです。

半導体

GEM通信ライブラリ(PowerGEM)

液晶・半導体工場の製造・検査・搬送装置がGEM対応の通信を行うための、アプリケーション開発ライブラリソフトウェアです。